표면처리 기술개발 업체 ㈜엔엔피(대표 황춘섭)가 특화된 렌즈기술을 적용한 신개념 노광기를 개발했다고 30일 밝혔다.

노광기는 포토리소그래피 기술을 적용한 기기로, 일정한 광(光)에 반응을 일으키는 재료로 만들어진 감광제와 미세한 패턴이 형성된 포토마스크에 광을 조사해 패턴형상을 만들어 내는 장비다.

미세회로를 형성하기 위해 기판에 감광제을 코팅한 후 포토 마스크를 진공으로 밀착해, 감광제가 광화학반응을 일으킬 수 있는 특정 파장영역(310∼400nm)의 빔을 일정시간 노출시켜 감광작용을 유도하는 것이다.

그 동안 선보였던 대부분의 노광기 제품은 반사경을 통해 확산광을 평행광으로 변환해 빛을 투여하는 면광원 방식의 평행광 노광기로, 다수의 반사경(고정밀 렌즈)으로 구성돼 있다. 다만 렌즈 가격 및 유지보수 비용 등이 아쉬웠다.

이번에 엔엔피에서 선보이는 노광기는 한국산업단지공단 ‘생산기술사업화 지원사업’을 통해 개발한 렌즈기술을 적용한 것으로, 다방향으로 입사되는 UV 산란광을 일방향 볼록렌즈의 집광력을 이용해 광파워를 한층 높여 미세한 패턴을 구현할 수 있는 점이 큰 특징이다. 렌즈부가 이동하면서 입사광을 나노 선광원으로 스캐닝하는 신개념 노광 기술을 선보이고 있다.

특히 자체 개발한 특화 렌즈를 이용해 점광원인 LDI(Laser Direct Imaging)와 비교하여 현상된 회로면이 매우 평활한 특징을 가진다. 이 렌즈는 볼록렌즈와 오목렌즈의 특징을 결합한 것으로, 최초의 UV 광이 렌즈부를 통과하면서 빛을 집광해 선광원의 평행광을 구현하게 된다.

황춘섭 대표는 “노광기는 FPCB(연성인쇄회로기판) 미세형상 가공분야를 비롯해 반도체 및 디스플레이 산업의 필수 장비이다. 특히, 디스플레이 제품의 고화질을 위한 핵심 장비로 해외에 100% 의존하고 있는 실정이라는 점에서 이번 나노 선광원 노광기 개발은 관련 장비산업의 국산화에 크게 기여 할 것으로 기대하고 있다”고 전했다.

한편 ㈜엔엔피는 1991년 전자부품 전문 표면처리 사업으로 시작해, 현재 각종 미세회로 금형 및 전기전자 소재개발을 진행하고 있는 친환경 첨단기술 집약형 기업이다. 최근까지 입체금속박막 제조기술, 미세패턴형성 기술, 전착도장기술, 일방향 볼록/오목렌즈 제작기술, EMI(전자파차폐)용 구리메쉬 생산기술, 에칭프리 FPCB(연성회로기판) 기술 등 다양한 기술력을 쌓으면서, 첨단부품소재 전문기업으로 박차를 가하고 있다.